OLED生产净化车间装修工程管理要点

  OLED生产净化车间装修工程管理要点

  摘要说明为保证OLED的洁净生产环境所采取的各种措施及良好效果。

  OLED是指有机发光二极管，又称为有机电激光显示

  因为具备轻薄、省电等特性，OLED屏幕具备了许多LCD不可比拟的优势。

  OLED器件是在净化车间内进行生产的，净化车间装修工程质量好坏，决定着生产线产品合格率的高低，进而影响产品成本。

  承建了一个OLED实验线净化车间装修工程，本文将系统介绍该净化车间装修工程管理的要点。

  1工程概况

  该项目主厂房生产区域为两层钢筋混凝土框架结构及钢屋架结构，混凝土屋面采用柔性高分子卷材屋面,钢结构屋面采用机械固定的卷材屋面方式，一层层高4.8 m，二层层高6.4 m，一层技术下夹层与二层生产区之间的楼板采用华夫板方式，利用华夫板上的开洞满足两层之间的回风，华夫板上设置导电性架空地板，设备根据工艺要求布置在架空地板或华夫板上。

  2设施布局

  一层主要包括的功能房间为技术下夹层，回风夹道，沿下夹层区域四周布置有门厅、换鞋区、一层、化学品供应、特气供应、废液收集、废水提升站、冷却循环水站、纯水抛光间、真空间、变电站、物料暂存间、成品暂存间等。

  二层是大开间的工艺生产区，布置生产设备。该层与技术下夹层之间的结构楼板是有一定开孔率的华夫板，华夫板上方安装架空活动地板，以满足回风的要求；生产设备层的吊顶安装风机过虑器单元（F F U），以满足生产层净化要求。

  二层核心净化区包括的区域有PVD/CVD、光刻间、掩模清洗、注入间、RTA、ELA、CVD、基板清洗间、小片切割、蒸镀、划片、UV硬化、基板切割间、探针、阵列检测间、缓冲间、有机库、FMM库、Q A、回风夹道等，核心净化区周围的其它功能房间包括有空调机房、电气室、配电室、维修间、材料库等。在核心净化生产区的两侧设计回风、管道竖井，形成净化空气的循环回路。并且在建筑的两边各设计多部楼梯，形成各层对室外的疏散通道。为满足净化生产的微振要求，二层的楼板——华夫板拟采用较厚的穿孔楼板结构，华夫板面刷环氧树脂涂料，为满足生产工艺的灵活布置并提高净化面积的使用效率，生产人员经主入口门厅进入换鞋区，再进入一次更衣，通过员工专用楼梯进入二层二次更衣室，再通过风淋室进入生产区。

  净化车间装修工程的空调系统由M A U（新风处理系统）

  +FFU+干盘管共同构成。生产区吊顶由风机过滤单元（FFU）与金属吊顶框架组成，FFU视各生产机台需要之等级均布，覆盖率随生产工艺需求而定。新风由MAU（新风处理系统）集中处理后与室内的循环风混合，经FFU加压、过滤后送入生产区。生产区内设备、人员、照明、围护结构等冷负荷均由干盘管承担。洁净室内湿度及正压

  控制由MAU负责。MAU供风量需求约50000

  CMH×2+1台，洁净室循环风量约773000 CMH。新风入口附设不织布滤网及库板隔间气室于新风空调机组入口前，延长主要滤网寿命。

  在化学品库、气体间设置独立的空调系统,新风经处理后送入室内，然后通过排风系统全部排至室外，空气不循环使用。

  工艺排风系统：在工艺生产过程中会产生含酸、碱、有机溶剂、高沸点有机、有害等废气。为保护生产人员的健康，减少对工作环境及厂区周围空气的污染，分别设计了相应的局部排风系统、全室排风系统及废气处理系统。为消除工艺生产区工艺设备等散发的热量所设计的局部排风系统、全室排风系统的排风不需处理可直接排入大气。为消除工艺生产区工艺设备散发的含酸、碱、有机溶剂、高沸点有机、有害等废气的局部排风系统，排风须先经废气洗涤塔等废气处理装置处理，达到国家排放标准后才能排入大气。工艺排风系统排风机风量设定约S T R 4 0 0 C M H×1+1台；G E X-D 18000CMH×1+1台；EX-W&GEX-H 12300CMH×1台，备用机与GEX-D共用；SEX 16 000CMH×1+1台；ORG 4 000 CMH×1+1台，所有工艺排风机均带变频器。

  防、排烟系统：对于大于300 m2的地上房间、长度大于40 m的疏散走道、长度大于20 m的内走道设置消防排烟系统。以高度为50 cm的挡烟垂壁划分防烟分区，最大防烟分区的面积为500 m2。排烟风机的风量为72 000 m3/h（60 000×1.2倍）。密闭房间设置机械排烟系统时，同时设置机械补风系统，补风量为排烟量的50%。防烟楼梯间及其前室、消防电梯前室或合用前室设置防烟设施。