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电子无尘车间标准要求

作者:电子无尘车间装修 浏览量:61 来源:电子无尘车间设计 时间:2022-10-11 17:55:35

信息摘要:

对于电子无尘车间​要求中气流的满布要求是不能忽略的重点。这代表着流动的气体能够覆盖车间内部空间的比例是否足够,是否能做到这个车间内空间的基本覆盖率。

  电子无尘车间有着对噪音的要求、车间内外压差的要求、车间气流满布的要求、车间温湿度的要求、对洁净度的要求、冷负荷要求、对新风系统的要求、抗静电的要求、对新鲜空气的要求等方面的标准要求。

  1、车间内噪音的要求

  噪音会对作业员的工作效率和状态产生影响,因此也是首要关键的一环。一般在静止空态条件下要求车间内的噪音标准要在60db以下。

  2、车间内外压差的要求

  对于无尘车间而言需要有稳定的气体流动才能做到除尘的目的,因此一定要存在有压差。

  在车间室内和室外一般要求压差不能小于10pa,在车间内部的洁净区域和非洁净区域的压差则不能小于5pa。

  3、车间气流满布的要求

  对于电子无尘车间要求中气流的满布要求是不能忽略的重点。这代表着流动的气体能够覆盖车间内部空间的比例是否足够,是否能做到这个车间内空间的基本覆盖率。

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  对于单向流动的满布率要在40%以上,而垂直流动的要在60%以上。

  4、车间温湿度的要求

  车间内部一定要配备有空调净化系统来保障温湿度,还应添加新风系统和超温保护系统以及防低温系统等等设施。

  5、对洁净度的要求

  由于生产工艺种类繁多,对洁净度等级要求也不同,高的很高,低的很低。

  对粒子粒径控制的要求也不同,范围约为0.1~5um;对温湿度控制的要求相对较高,如集成电路前道工序一般要求室内温度基数为22℃(精度±0.1~±1℃)。

  相对湿度基数为40%(精度±2~±5℃;正压值要求的梯度级别,随着洁净度的变化而从高到低变化,差值5~10Pa。

  6、冷负荷要求

  电子行业无尘车间的冷负荷比其他行业的无尘车间大很多,单位冷负荷达400~500W/㎡很常见。由于冷负荷大,一般情况下,冬季也需要供冷,这是电子行业的特点。

  7、对新风系统的要求

  电子行业生产工艺过程产生的有害气体种类繁多,且量也大,所以需要的排风量和新风量也大。新排风的节能措施也是行业特点之一,排放前要做处理,使排风负荷环保要求。

  8、抗静电的要求

  电子行业生产工艺有抗静电、抗微振的要求,并且大宗气体和特种气体种类多,对纯度和洁净度要求高:

  9、对新鲜空气的要求

  补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。保给洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。


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